- Table I-19 to Subpart I of Part 98—Reference Emission Factors (1-Uij) for Gas Utilization Rates (Uij) and By-Product Formation Rates (Bijk) for Semiconductor Manufacturing for 150 mm and 200 mm Wafer Sizes
Table I-19 to Subpart I of Part 98—Reference Emission Factors (1-U
| Process type/sub-type | Process gas i | CF | C | CHF | CH | C | CH | C | C | NF | SF | C | C | C | 1-U | 0.73 | 0.46 | 0.31 | 0.37 | 0.064 | 0.66 | NA | 0.21 | 0.20 | 0.55 | 0.086 | 0.072 | NA | BCF | NA | 0.20 | 0.10 | 0.031 | 0.077 | NA | NA | 0.17 | 0.0040 | 0.023 | 0.0089 | NA | NA | BC | 0.029 | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.065 | NA | NA | 0.045 | 0.014 | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.016 | NA | NA | NA | NA | NA | BCHF | 0.13 | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.0039 | NA | 1-U | 0.92 | 0.55 | NA | NA | NA | NA | 0.40 | 0.10 | 0.18 | NA | NA | NA | 0.14 | BCF | NA | 0.19 | NA | NA | NA | NA | 0.20 | 0.11 | 0.14 | NA | NA | NA | 0.13 | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.045 | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 1-U | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.028 | NA | NA | NA | NA | BCF | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 0.015 | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | 1-U | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BCF | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | BC | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA | NA |
|---|